※サンプル画像(詳細は各品番の仕様をご確認ください)
商品レビューを投稿する
内容量
1個
注文コード
39104967
品番
WD4MS-VFC-N-589
参考基準価格(税別)¥45,400
販売価格(税込)
¥49,478
販売価格(税別)
半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を流体として使用できるダイヤフラムバルブです。バルブの基本特性、パーティクル性能やパージ特性を維持しながら、シート(ASSY)部の交換をユーザーサイドで可能としました。定期的なクリーニングを必要とする材料容器の封止バルブに対し、メンテナンス性能の向上とランニングコストダウンに有効です。シート(ASSY)部交換治具はWD4手動弁シリーズと共通です。アクチュエーター径Φ39.7mmで、ラインピッチ40mmに対応可能です。