XY直交度(mm)0.02
ストローク(X距離)(mm)±12.5
ストローク(Y距離)(mm)±12.5
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)125
テーブル幅(mm)125
耐荷重(N)255
送り方式MHN1-25T(標準マイクロメータ)
移動ガイドV溝とクロスローラ
操作位置逆サイド
質量(kg)4.3
感度0.003mm
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.05
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)鋼材/硬質黒色クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度0.003mmヨーイング・ピッチング15sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.05、ピッチ剛性 0.05、ロール剛性 0.03
移動量(ツマミ1回転)0.5mm
