ストローク(Z距離)(mm)±3
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)30
テーブル幅(mm)30
耐荷重(N)19.6
送り方式CMH-6.5RA(標準マイクロメータ)
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
感度0.003mm
目量マイクロメータ式0.01mm
操作位置センター
質量(kg)0.07
クランプ板クランプ
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 1.00、ピッチ剛性 1.00、ロール剛性 1.00
垂直度(mm)0.080、運動の垂直度：0.030
移動量(ツマミ1回転)0.5mm
