ストローク(Z距離)(mm)±6.5種類Zステージテーブル長さ(mm)50テーブル幅(mm)50耐荷重(N)49送り方式CMH-13RM(標準マイクロメータ)移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)感度0.003mmクランプ板クランプ操作位置センター質量(kg)0.45目量マイクロメータ式0.01mm材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム、(Zブラケット)アルミ合金/黒アルマイト梨地RoHS指令(10物質対応)対応移動方向Z軸1方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.04、ピッチ剛性 0.04、ロール剛性 0.02許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：800、ピッチ：800、ロール：800垂直度(mm)0.065、運動の垂直度：0.025移動量(ツマミ1回転)0.5mm
