抵抗率キャリア密度とドーピング密度接触抵抗とショットキー障壁直列抵抗、チャネルの長さと幅、しきい値電圧欠陥の密度と準位酸化膜および界面にトラップされた電荷、酸化膜の厚さキャリアの寿命移動度電荷のプローブ測定光学的評価法〔ほか〕