用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
流体HE
材質(シール)FKM
最大流量50SLM
使用圧力(MPa)0.0〜0.5(G)
バルブの有無なし
精度FS±3%以内@25℃
耐圧(MPa)1.0(G)
接続RC1/4
センサー熱式センサー
所要電力DC24V±5% 100mA
温度係数FS±0.2%/℃(15〜35℃)
許容周囲温度(℃)0〜50
材質(ボディ)接ガス部:SUS303、PTFE
出力信号4-20mA
許容湿度(%)30〜80(結露なきこと)
校正温度(℃)20
イベント出力NPNオープンコレクタ出力2段 最大定格DC30V 50mA