質量(kg)0.19
材質(本体)アルミ合金
種類Xステージ
モーターPK513PB(オリエンタルモーター：定格電流0.35A/相、基本ステップ角0.72°、リード線5本)
分解能(フル/ハーフステップ)0.1μm/0.05μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.005μm
耐荷重(N)(水平)39.2
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式研削ねじ・リード0.5mm
移動ガイドクロスローラ
テーブル幅(mm)40
テーブル長さ(mm)40
ストローク(X距離)(mm)±5
モーメント荷重(arcsec/N・cm)0.78
