質量(kg)0.45材質(本体)アルミ合金種類XステージモーターPK523HPMB(オリエンタルモーター:定格電流0.75A/相、基本ステップ角0.36°、リード線5本)分解能(フル/ハーフステップ)0.5μm/0.25μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.025μm耐荷重(N)(水平)49RoHS指令(10物質対応)対応送り方式研削ねじ・リード0.5mm移動ガイドクロスローラテーブル幅(mm)50テーブル長さ(mm)50ストローク(X距離)(mm)±7.5モーメント荷重(arcsec/N・cm)0.31