質量(kg)0.6
材質(本体)アルミ合金
種類Xステージ
モーターPK523PMB(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.36°，リード線5本)
分解能(フル/ハーフステップ)1μm/0.5μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.05μm
耐荷重(N)(水平)98
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式ボールねじ・リード1mm
移動ガイドクロスローラ
テーブル幅(mm)70
テーブル長さ(mm)70
ストローク(X距離)(mm)±10
モーメント荷重(arcsec/N・cm)0.1
