質量(kg)0.6材質(本体)アルミ合金種類XステージモーターPK523PMB(オリエンタルモーター:定格電流0.75A/相,基本ステップ角0.36°,リード線5本)分解能(フル/ハーフステップ)1μm/0.5μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.05μm耐荷重(N)(水平)98RoHS指令(10物質対応)対応送り方式ボールねじ・リード1mm移動ガイドクロスローラテーブル幅(mm)70テーブル長さ(mm)70ストローク(X距離)(mm)±10モーメント荷重(arcsec/N・cm)0.1