質量(kg)2.75
材質(本体)鉄
種類Xステージ
モーターPK544PMB(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.36°，リード線5本)
分解能(フル/ハーフステップ)0.5μm/0.25μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.025μm
耐荷重(N)(水平)196
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式研削ねじ・リード0.5mm
移動ガイドクロスローラ
テーブル幅(mm)100
テーブル長さ(mm)100
ストローク(X距離)(mm)±12.5
モーメント荷重(arcsec/N・cm)0.01
