質量(kg)2.75材質(本体)鉄種類XステージモーターPK544PMB(オリエンタルモーター:定格電流0.75A/相,基本ステップ角0.36°,リード線5本)分解能(フル/ハーフステップ)1μm/0.5μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.05μm耐荷重(N)(水平)196RoHS指令(10物質対応)対応送り方式ボールねじ・リード1mm移動ガイドクロスローラテーブル幅(mm)100テーブル長さ(mm)100ストローク(X距離)(mm)±12.5モーメント荷重(arcsec/N・cm)0.01