質量(kg)3.8
材質(本体)アルミ合金
種類Xステージ
モーターC087Q-9215P(オリエンタルモーター神津精機専用型式：定格電流0.75A/相、基本ステップ角0.72°，リード線5本)
分解能(フル/ハーフステップ)4μm/2μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.2μm
耐荷重(N)(水平)196
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式ボールねじ・リード1mm
移動ガイドリニアガイド
テーブル幅(mm)100
テーブル長さ(mm)100
ストローク(X距離)(mm)±50
モーメント荷重(arcsec/N・cm)0.05
