材質テーブル:アルミ合金質量(kg)18.2材質(本体)鉄種類XステージモーターC087Q-9215P(オリエンタルモーター神津精機専用型式:定格電流0.75A/相、基本ステップ角0.72°,リード線5本)分解能(フル/ハーフステップ)10μm/5μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.5μm耐荷重(N)(水平)392RoHS指令(10物質対応)対応送り方式ボールねじ・リード1mm移動ガイドリニアガイドテーブル幅(mm)160テーブル長さ(mm)160ストローク(X距離)(mm)±152モーメント荷重(arcsec/N・cm)0.02