材質テーブル：アルミ合金
質量(kg)18.2
材質(本体)鉄
種類Xステージ
モーターC087Q-9215P(オリエンタルモーター神津精機専用型式：定格電流0.75A/相、基本ステップ角0.72°，リード線5本)
分解能(フル/ハーフステップ)10μm/5μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.5μm
耐荷重(N)(水平)392
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式ボールねじ・リード1mm
移動ガイドリニアガイド
テーブル幅(mm)160
テーブル長さ(mm)160
ストローク(X距離)(mm)±152
モーメント荷重(arcsec/N・cm)0.02
