質量(kg)0.45材質(本体)アルミ合金種類xyステージモーターPK523HPMB(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相、基本ステップ角0.36°、リード線5本)分解能(フル/ハーフステップ)1μm/0.5μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.05μm耐荷重(N)(水平)39.2RoHS指令(10物質対応)対応送り方式ボールねじ・リード1mm移動ガイドクロスローラテーブル幅(mm)50テーブル長さ(mm)50ストローク(X距離)(mm)±0.75ストローク(Y距離)(mm)±0.75モーメント荷重(arcsec/N・cm)0.61
