質量(kg)2.6
材質(本体)鉄
種類xyステージ
モーターPK544PMB(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.36°，リード線5本)
分解能(フル/ハーフステップ)0.5μm/0.25μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.025μm
耐荷重(N)(水平)88.2
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式研削ねじ・リード0.5mm
移動ガイドクロスローラ
テーブル幅(mm)70
テーブル長さ(mm)70
ストローク(X距離)(mm)±10
ストローク(Y距離)(mm)±10
モーメント荷重(arcsec/N・cm)0.15
