質量(kg)2.6材質(本体)鉄種類xyステージモーターPK544PMB(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.36°，リード線5本)分解能(フル/ハーフステップ)0.5μm/0.25μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.025μm耐荷重(N)(水平)88.2RoHS指令(10物質対応)対応送り方式研削ねじ・リード0.5mm移動ガイドクロスローラテーブル幅(mm)70テーブル長さ(mm)70ストローク(X距離)(mm)±10ストローク(Y距離)(mm)±10モーメント荷重(arcsec/N・cm)0.15
