質量(kg)2
材質(本体)アルミ合金
種類xyステージ
モーターTS3664N29E4(多摩川精機：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.72°、リード線5本)
分解能(フル/ハーフステップ)2μm/1μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.1μm
耐荷重(N)(水平)176.4
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式ボールねじ・リード1mm
移動ガイドクロスローラ
テーブル幅(mm)100
テーブル長さ(mm)100
ストローク(X距離)(mm)±12.5
ストローク(Y距離)(mm)±12.5
モーメント荷重(arcsec/N・cm)0.06
