質量(kg)7.2材質(本体)アルミ合金種類xyステージモーターC087Q-9215P(オリエンタルモーター神津精機専用型式：定格電流0.75A/相、基本ステップ角0.72°，リード線5本)分解能(フル/ハーフステップ)2μm/1μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.1μm耐荷重(N)(水平)254.8RoHS指令(10物質対応)対応送り方式研削ねじ・リード0.5mm移動ガイドクロスローラテーブル幅(mm)124テーブル長さ(mm)160ストローク(X距離)(mm)±30ストローク(Y距離)(mm)±30モーメント荷重(arcsec/N・cm)0.03
