質量(kg)1.15
材質(本体)アルミ合金
種類Zステージ
モーターPK544PMB(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.36°，リード線5本)
分解能(フル/ハーフステップ)0.25μm/0.125μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.0125μm
耐荷重(N)(水平)49
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式1/4-クサビ・ボールねじ・リード1mm
移動ガイドクロスローラ
テーブル幅(mm)70
テーブル長さ(mm)70
ストローク(Z距離)(mm)±2.5
