質量(kg)1.8材質(本体)アルミ合金種類ZステージモーターC090P-9015P(オリエンタルモーター神津精機専用型式:定格電流0.75A/相,基本ステップ角0.72°,リード線5本)分解能(フル/ハーフステップ)0.5μm/0.25μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.025μm耐荷重(N)(水平)117.6RoHS指令(10物質対応)対応送り方式1/2-ベルト・研削ねじ・リード0.5mm移動ガイド四面フラットローラガイドテーブル幅(mm)70テーブル長さ(mm)70ストローク(Z距離)(mm)±10