質量(kg)3.25
材質(本体)アルミ合金
種類Zステージ
モーターPK544PMB(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.36°，リード線5本)
分解能(フル/ハーフステップ)0.5μm/0.25μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.025μm
耐荷重(N)(水平)98
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式1/2-クサビ・ボールねじ・リード1mm
移動ガイドクロスローラ
テーブル幅(mm)100
テーブル長さ(mm)100
ストローク(Z距離)(mm)±7
