質量(kg)4.3材質(本体)アルミ合金種類ZステージモーターPK525HPMB(オリエンタルモーター:定格電流0.75A/相,基本ステップ角0.36°,リード線5本)分解能(フル/ハーフステップ)0.1μm/0.05μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.005μm耐荷重(N)(水平)294RoHS指令(10物質対応)対応送り方式1/40-ウォーム・ボールねじ・リード4mm移動ガイド四面フラットローラガイドテーブル幅(mm)100テーブル長さ(mm)100ストローク(Z距離)(mm)±15