質量(kg)4.3
材質(本体)アルミ合金
種類Zステージ
モーターPK525HPMB(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.36°，リード線5本)
分解能(フル/ハーフステップ)0.1μm/0.05μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.005μm
耐荷重(N)(水平)294
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式1/40-ウォーム・ボールねじ・リード4mm
移動ガイド四面フラットローラガイド
テーブル幅(mm)100
テーブル長さ(mm)100
ストローク(Z距離)(mm)±15
