質量(kg)14.5
材質(本体)アルミ合金
種類Zステージ
モーターC090P-9015P(オリエンタルモーター神津精機専用型式：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.72°，リード線5本)
分解能(フル/ハーフステップ)0.2μm/0.1μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.01μm
耐荷重(N)(水平)490
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式1/40-ウォーム・ボールねじ・リード4mm
移動ガイド四面フラットローラガイド
テーブル幅(mm)160
テーブル長さ(mm)160
ストローク(Z距離)(mm)±25
