ストローク(Z距離)(mm)±2.5
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)(水平)24.5
送り方式1/2-クサビ・研削ねじ・リード0.5mm
移動ガイドクロスローラ
質量(kg)0.23
材質(本体)アルミ合金
モーター5相ステッピングモータ(オリエンタルモーター：PK513PB)定格電流0.35A/相，基本ステップ角0.72°
分解能(フル/ハーフステップ)0.5μm/0.25μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.025μm
仕上白色
コネクタ丸形20ピン (ヒロセ： RP13A-12JG-20PC)
繰返し精密度(μm)≦±0.5
最大速度(mm/sec)2.5
結線M2-5C / 原点センサはついておりません
ロストモーション(mm)≦0.02
垂直度(μm)≦4/5mm
