ストローク(Z距離)(mm)±7
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)100
テーブル幅(mm)100
耐荷重(N)(水平)98
送り方式1/2-クサビ・ボールねじ・リード1mm
移動ガイド四面フラットローラガイド
質量(kg)3.25
材質(本体)アルミ合金
モーター5相ステッピングモータ/PK544PMB(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.36°，リード線5本)
分解能(フル/ハーフステップ)0.5μm/0.25μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.025μm
仕上白色
センサー型式F-115R(HOME，LIMIT)
コネクタ角形20ピン(ヒロセ： PC-1620， P-1620A-STA)
繰返し精密度(μm)≦±0.5
最大速度(mm/sec)2.5
結線V3
ロストモーション(mm)≦0.01
垂直度(μm)≦5/14mm
