ストローク(Z距離)(mm)±12.5
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)100
テーブル幅(mm)100
耐荷重(N)(水平)98
送り方式研削ねじ・リード0.5mm
移動ガイドクロスローラ
質量(kg)4.15
材質(本体)鉄
モーター5相ステッピングモータ/PK544PMB(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.36°，リード線5本)
分解能(フル/ハーフステップ)0.5μm/0.25μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.025μm
仕上ニッケルメッキ
センサー型式F-101(HOME，LIMIT)
コネクタ角形20ピン(ヒロセ： PC-1620， P-1620A-STA)
繰返し精密度(μm)≦±0.3
最大速度(mm/sec)2.5
結線V3
ロストモーション(mm)≦0.02
垂直度(μm)≦10/25mm
