ストローク(X距離)(mm)±5
ストローク(Y距離)(mm)±5
種類xyステージ/傾斜ステージ
テーブル長さ(mm)130
テーブル幅(mm)130
耐荷重(N)(水平)196
送り方式ボールねじ・リード1mm
移動ガイドXY：クロスローラ・θ：クロスローラベアリング
質量(kg)4
材質(本体)アルミ合金
モーター5相ステッピングモータ/PK513PB(オリエンタルモーター：定格電流0.35A/相，基本ステップ角0.72°，リード線5本)
分解能(フル/ハーフステップ)XY：2μm/1μm、θ： 0.001348°/0.000674°
仕上白色
センサー型式XYθ：F-115(HOME， LIMIT)
コネクタ丸形20ピン(ヒロセ： RP13A-12JG-20PC)
真直度(μm)(水平)XY：≦ 1/10mm、(垂直)XY：≦ 1/10mm
繰返し精密度(μm)XY：≦±0.5
結線V2
バックラッシュXY：≦ 1μm、θ：≦ 0.005°
ロストモーション(mm)XY：≦ 0.002
最高速度(mm/s)XY：10mm/sec ： Half 10kpps θ：6.74°/sec ： Half 10kpps
移動量(°)±5
ロストモーション(°)θ：≦ 0.005
モーメント荷重(arcsec/N・cm)0.1
