・電気信号に比例して空気圧力を無段階に制御。 ・最高供給圧力：5.0MPa ・設定圧力範囲：0.01〜3.0MPa ・最大流量：3000L/min(ANR) ・使用流体：空気，N2，O2，Ar ・接流体部：フッ素系グリース使用。
