仕様●リミットセンサ：ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ●原点前センサ：ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ●回転中心(ステージ上面より)(mm)：160
高さ(mm)ステージ：47
備考QT-Bシリーズ接続ステージ選択(パラメータNo.4): 14
種類傾斜ステージ
分解能0.002 °
適合ケーブルACB-BTD2、ACB-BTD3、ARC-BTD3
耐荷重(N)98(10kgf)
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向傾斜1方向
送り方式ウォームギヤ
移動ガイドV溝とクロスローラ
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.08、ロール剛性 0.03
使用モータPKP545N18B2
移動量(°)± 10
位置決め精度(°)0.025
ロストモーション(°)0.002
最高速度(°/s)16
繰返し精度(°)±0.002
テーブル幅(mm)125
テーブル長さ(mm)125
原点センサノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ
