空気圧機器をトラブルから守るために各種フィルタ、空気の清浄化と調圧による力のコントロールを実現。液晶、半導体関連プロセスでの各種溶剤、純水回路中のキャリアガス、ブロー圧力、クリーンエア、ガスの圧力制御などを高精度(感度0.001MPa)に設定可能。