軽量コンパクトで発塵部位に直接取付可能 分散配置で効果的な防塵レイアウト クリーンルーム室圧に対してわずか9.8Pa以下のマイナス圧を維持することで高清浄度を確保可能 配管不要、真空ブロワー不要 低騒音 ローコスト