仕様●サイズ:12インチシリコンウェハ●熱酸化膜膜厚み:900nm±10%●直径(mm):300.0±0.2●ウェハー厚(μm):775±25●製造方法:CZ法●導電型:P型●面方位:100●Notch方位:110●抵抗値(Ω・cm):1~100●V Notch●面状態:ミラー/ミラー●パーティクル:≧0.2μm,≦50個(成膜前)●TTV(μm):≦10●数量:25枚(1箱)●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。材質シリコングレード研究用仕上ミラー抵抗値1~100Ω・cmアズワン品番67-3009-46製造方法CZ法研磨内容両面鏡面径(inch)ウェハー:12