仕様●グレード：Dummy●タイプ：4H●Surface orientation error：＜11-20＞4±0.15°●ドーパント：n-type●抵抗率：0.015～0.025Ω●直径：99.5～100mm●厚み：350±25μm●1次オリフラ：[1-100]±5°●1次オリフラ長さ：32.5±1.5mm●2次オリフラ：18±1.5mm●TTV：20μm●Bow：45～45μm●Warp：50μm●表面仕上げ：Si面 CMP Si-faceCMP●表面粗さ(Si-face)：Ra≦0.2nm(5μm×5μm)●マイクロパイプ：≦10ea/cm2●ブラックレーザーマーキング：1mm(from top edge)●数量：1枚(1箱)●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。
アズワン品番67-3018-19
