仕様●グレード：Production Grade●タイプ：4H●Surface orientation error：＜11-20＞4±0.15°●ドーパント：n-type●抵抗率：0.015〜0.025Ω●直径：150.0±0.2mm●厚み：350±25μm●1次オリフラ：[1-100]±5°●1次オリフラ長さ：47.5±1.5mm●2次オリフラ：None●TTV：≦3μm●Bow：-25〜25μm●Warp：≦35μm●表面仕上げ：Si面 CMP Si-faceCMP●Back Finish：C-face polished●表面粗さ(Si-face)：Ra≦0.2nm(5μm×5μm)●マイクロパイプ：≦0.2ea/cm2●BPD：≦1500ea/cm2●TSD：≦300ea/cm2●数量：1箱(3枚入)※1枚につき1ケース●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。
アズワン品番67-3018-35
