マイクロスキャニングステージ

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内容量1台 質量(kg)36 注文コード85321383 品番MSS-H300AD
参考基準価格(税別)¥2,200,000 販売価格(税込) ¥2,417,800
販売価格(税別)
2,198,000
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FA用途を強く意識した、高速、急停止、短時間整定が可能なXY自動ステージです。高速移動、急停止の繰り返しをした場合に、約60msで整定するため、例えば150mm×150mm内のワークパターン約1万箇所の全数検査範囲を約17分で走査可能です。繰り返し精度±0.002mmのため、高倍率顕微鏡視野内(約Φ0.1mm)の位置再現性も十分にあります。メーカー製の超高速追従型オートフォーカス顕微鏡システムと組み合わせることで、外観検査などに最高のパフォーマンスを発揮します。

耐荷重(N)49(5kg) 移動ガイドV溝とクロスローラ 幅(mm)200 奥行(mm)280 高さ(mm)200 質量(kg)36 付属品フラットベース、検査合格証、六角穴付きボルト(本体固定用)M6 4本、六角穴付きボルト(フラットベース固定用)M6 4本、ACケーブル、センサケーブル、モータケーブル、QT-Aコントローラ接続用ケーブル 材質アルミ合金 移動方向XY軸2方向 移動量(mm)XY軸±150 ステージ寸法(mm)490×490 使用モータαステップモータ ARM46AC相当品 分解能(mm)0.002 送りねじリード(mm)2 位置決め精度(mm)(1/10ストローク)X軸0.040、Y軸0.040、(フルストローク)X軸0.120、Y軸0.100 繰返し精度(mm)±0.002 ロストモーション(mm)0.003 最高速度(mm/s)100 表面処理黒アルマイト梨地 原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ センサーリミット:ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ 型番ドライバ:QT-ARD2 入力電源AC100〜115V 50/60Hz 最大6.0A 軸数駆動:2軸 駆動方式2相ステッピングバイポーラ方式 電流(A)駆動:0.49/相 分解能切換:0.002mm(初期値)、(内部スイッチにより0.004mm、0.0004mm、0.0002mm切換可) 入力信号駆動パルス パルス方式→2パルス方式(初期値)、(内部スイッチにより1パルス方式切換可)、最大パルス周波数→250KHz(50%デューティー時)、パルス電圧→+5V、対応信号形態→オープンコレクタ、ラインドライバ 適合ステージ:MSS-H200A、またはMSS-H300A専用 コントローラ推奨:QT-AMH2、QT-ADM2

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