測定範囲(mm)5
測定力(N)(20℃にて)上方位:0.35±0.25、横方位:0.40±0.25、下方位:0.45±0.25
分解能(μm)0.1
精度(20℃にて)1μmp-p
最大応答速度(m/min)80
応答速度原点：80m/min
出力専用シリアル通信プロトコル
駆動方式スピンドル：バネ押出し/真空引き込み
保護等級ストレートタイプ : IP67 ； ライトアングルタイプ : IP64 (IP67 )
耐振動(m/s2)100(20〜2000Hz)
耐衝撃(m/s2)1000(11 ms)
使用温度範囲(℃)0〜+50(結露なきこと)
保存温度範囲(℃)-20〜+60(90 %RH 以下)
電源電圧(V)DC+10〜+30リップル(p-p)10%含む
消費電力(W)1.2以下
質量(g)約30
ケーブル長(m)プローブ部：2、出力：最大20(別売のCE34シリーズをご使用ください)
測定子超硬合金球面付 取付ねじ M2.5
付属品取扱説明書、スパナ1個、ホースエルボ1個(DF8□□S□L□□のみ)、締付けナット、クランプスパナ、ウエーブワッシャ、取付用ピン各1個(DF8□□S□F□□のみ)
仕様原点：スピンドル移動1mm±0.5mmの位置
