測定範囲(mm)5
測定力(N)上方位：0.35±0.25、横方位：0.4±0.25、下方位：0.45±0.25
タイプ汎用分解能、ボールスプライン
分解能(μm)最高0.5
精度(20℃にて)1.5μmp-p
最大応答速度(m/min)250
駆動方式スピンドル：バネ押出し、真空引き込みによるエア駆動可能
保護等級IP64、IP67(ライトアングルタイプでΦ4mmチューブ接続時)【インターポレーションBOXとコネクタ部を除く】
耐振動(m/s2)100(20〜2000Hz)
耐衝撃(m/s2)1000(11ms)
電源電圧(V)DC5±5%
消費電力(W)1
出力A/B/原点 電圧差動型ラインドライバ出力(EIA-422に準拠)
質量(g)約30(ケーブル部およびインターポレーションBOXを除く)
測定子スチール球面付 取付ねじM2.5
ケーブル長(m)出力：2.5
付属品取扱説明書 +P M4×5ねじ2本 締め付けナット、クランプスパナ、ウェーブワッシャ、取付用ピン各1個、ホースエルボ1個、スパナ1個
ステム径(Φmm)8
仕様●原点付●原点位置：スピンドル移動1mm±0.5mmの位置
構造ライトアングル
精度(μm)1.5 p-p(20℃にて)
使用温湿度範囲0〜50℃(結露なきこと)
保存温湿度範囲-20〜60℃(90%RH以下)
応答速度原点：250m/min
ステム形状フランジ
位相差最小：50ns
