測定範囲(mm)12測定力(N)上方位：0.6±0.5、横方位：0.7±0.5、下方位：0.8±0.5[空気圧：0.055MPaの時]タイプ汎用分解能、ボールスプライン分解能(μm)最高0.5精度(20℃にて)1.5μmp-p最大応答速度(m/min)250駆動方式スピンドル：空気圧押出し保護等級IP67【インターポレーションBOXとコネクタ部を除く】耐振動(m/s2)100(20～2000Hz)耐衝撃(m/s2)1000(11ms)電源電圧(V)DC5±5%消費電力(W)1出力A/B/原点 電圧差動型ラインドライバ出力(EIA-422に準拠)質量(g)約30(ケーブル部およびインターポレーションBOXを除く)測定子スチール球面付 取付ねじM2.5ケーブル長(m)出力：2.5付属品取扱説明書 +P M4×5ねじ2本 締め付けナット、クランプスパナ、ウェーブワッシャ、スパナ1個ステム径(Φmm)8(0～-0.009)仕様●原点付●原点位置：スピンドル移動1mm±0.5mmの位置構造空気圧押出し精度(μm)1.5 p-p(20℃にて)使用温湿度範囲0～50℃(結露なきこと)保存温湿度範囲-20～60℃(90%RH以下)応答速度原点：250m/minステム形状ストレート位相差最小：50ns
