測定範囲(mm)30測定力(N)上方位：0.5±0.35、横方位：0.6±0.35、下方位：0.7±0.35タイプ高分解能、ボールスプライン分解能(μm)最高0.1精度(20℃にて)1.7μmp-p最大応答速度(m/min)80駆動方式スピンドル：バネ押出し保護等級IP53/IP67(ベローズセット(別売アクセサリ)装着時)【インターポレーションBOXとコネクタ部を除く】耐振動(m/s2)100(20～2000Hz)耐衝撃(m/s2)1000(11ms)電源電圧(V)DC5±5%消費電力(W)1出力A/B/原点 電圧差動型ラインドライバ出力(EIA-422に準拠)質量(g)約70(ケーブル部およびインターポレーションBOXを除く)測定子超硬合金球面付 取付ねじM2.5ケーブル長(m)出力：2.5付属品専用スパナ、取扱説明書、補足説明書、+P M4×5ねじ(2本)ステム径(Φmm)8(0～-0.009)仕様●原点付●原点位置：スピンドル移動1mm±0.5mmの位置構造ライトアングル精度(μm)1.3 p-p(20℃にて)使用温湿度範囲0～50℃(結露なきこと)保存温湿度範囲-20～60℃(90%RH以下)応答速度原点：80m/minステム形状ストレート位相差最小：50ns
