測定範囲(mm)30
測定力(N)空気圧0.07MPaの時全方位1.9以下、空気圧0.09MPaの時全方位2.6以下
タイプ高分解能、ボールスプライン
分解能(μm)最高0.1
精度(20℃にて)1.7μmp-p
最大応答速度(m/min)80
駆動方式スピンドル：空気圧押出し
保護等級IP53/IP67(ベローズセット(別売アクセサリ)装着時)【インターポレーションBOXとコネクタ部を除く】
耐振動(m/s2)100(20〜2000Hz)
耐衝撃(m/s2)1000(11ms)
電源電圧(V)DC5±5%
消費電力(W)1
出力A/B/原点 電圧差動型ラインドライバ出力(EIA-422に準拠)
質量(g)約80(ケーブル部およびインターポレーションBOXを除く)
測定子超硬合金球面付 取付ねじM2.5
ケーブル長(m)出力：2.5
付属品専用スパナ、取扱説明書、補足説明書、+P M4×5ねじ(2本)
ステム径(Φmm)8(0〜-0.009)
仕様●原点付●原点位置：スピンドル移動1mm±0.5mmの位置
構造空気圧押出し
精度(μm)1.7 p-p(20℃にて)
使用温湿度範囲0〜50℃(結露なきこと)
保存温湿度範囲-20〜60℃(90%RH以下)
応答速度原点：80m/min
ステム形状ストレート
位相差最小：50ns
