出力A/B/原点 電圧差動型ラインドライバ出力 (EIA-422に準拠)
分解能(μm)0.1
測定範囲(mm)12
精度(μm)1p-p
測定力(N)上方位：0.4±0.3・0.6±0.5(空気圧押出しタイプ)、横方位：0.5±0.3・0.7±0.5(空気圧押出しタイプ)、下方位：0.6±0.3・0.8±0.5(空気圧押出しタイプ)※空気圧：0.055MPaの時
最大応答速度(m/min)42
耐振動(m/s2)100(20〜2000Hz)
耐衝撃(m/s2)1000(11ms)
保護等級ストレートタイプ：IP67、ライトアングルタイプ：IP64 (IP67 ※)
使用温度範囲(℃)0〜50(結露無き事)
電源電圧(V)DC5±5%
消費電力(W)1
ケーブル長(m)2.5(出力)
質量(g)約30
測定子超硬合金球面付 取付ねじM2.5
付属品取扱説明書、+P M4×5ねじ2本、締付けナット、クランプスパナ、ウェーブワッシャ、スパナ1個
駆動方式【スピンドル】空気圧押出し
保存温湿度範囲-20〜60℃/90%RH以下
仕様【原点位置】スピンドル移動1mm±0.5mmの位置
