使用温度範囲(℃)
5〜50
真空スイッチ：0〜50
使用圧力範囲(MPa)
0.25〜0.7MPa
真空スイッチ：0〜-100kPa
アナログ出力
出力電圧：-
ゼロ点電圧：-
スパン電圧：-
直線性/ヒステリシス：-
使用流体
空気
真空スイッチ：空気、不活性ガス
出力仕様
スイッチ出力1点
アナログ出力1点
スイッチ出力
出力点数：1
出力方式：NPNオープンコレクタ
設定圧力範囲：0〜-100 kPa
動作精度：±3%F.S. (25℃時)
応 差：設定値の約1〜15%
スイッチ容量：30VDC 80mA以下
残留電圧：0.8V以下
吸込流量(L/min)26
性能大流量計(定格供給圧力：0.5MPa)
ユニット形状フィルタ、真空スイッチ、供給バルブ、真空破壊バルブ
電圧(V)バルブユニット/AC100V
コネクタ形状上面取出
センサーアナログ1点、スイッチ1点 真空スイッチ
使用湿度範囲35〜85%RH
消費電力(mA)17以下(スイッチ1点：ON時)
真空度(kPa)-66
給油不要
耐久性1，000万回(0〜定格圧力)
RoHS指令(10物質対応)対応
耐圧(kPa)200
供給電源DC12 〜24V ±10% リップル含有率10%(P-P)以下
真空ポートサイズVΦ6
ノズル径(Φmm)0.7
