XY直交度(mm)0.006ストローク(X距離)(mm)±20ストローク(Y距離)(mm)±20種類xyステージテーブル長さ(mm)90テーブル幅(mm)90耐荷重(N)166送り方式送りねじ移動ガイドV溝とクロスローラ仕様(送りねじ)ボールねじ質量(kg)5.5表面処理(テーブル)カニゼンメッキ、(ベース)塗装繰返し精度(mm)±0.0006センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ分解能0.002mm適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3移動方向XY軸2方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.6、ピッチ剛性：0.4、ロール剛性：0.4使用モータPK543NBW相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)送りねじリード(mm)1位置決め精度(mm)0.005ロストモーション(mm)0.001最高速度(mm/s)16(8000pps時)材質(テーブル)鋼材
