XY直交度(mm)0.06
ストローク(X距離)(mm)±30
ストローク(Y距離)(mm)±30
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)90
テーブル幅(mm)90
耐荷重(N)78.4
送り方式送りねじ
移動ガイドボールブッシュ
仕様(送りねじ)ボールねじ
質量(kg)5
表面処理(テーブル)白アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.003
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-BTD2・ACB-BTD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.05
使用モータPK543NBW相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
位置決め精度(mm)(無負荷時)0.05、(4kg負荷時)0.15
ロストモーション(mm)0.01
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
