ストローク(X距離)(mm)±15
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)49
送り方式送りねじ
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
仕様精密ねじ仕様(標準型)
質量(kg)0.62
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.0005
センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.001mm
平行度(mm)運動/0.015
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向X軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.06、ピッチ剛性：0.08、ロール剛性：0.08
使用モータPK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)0.5
位置決め精度(mm)0.016
ロストモーション(mm)0.005
最高速度(mm/s)8(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
