ストローク(Z距離)(mm)±15種類Zステージテーブル長さ(mm)70テーブル幅(mm)70耐荷重(N)19.6送り方式送りねじ移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)仕様精密ねじ仕様(対称型)質量(kg)0.9表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地繰返し精度(mm)±0.0005センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ分解能0.001mm適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3RoHS指令(10物質対応)対応移動方向Z軸1方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.06、ピッチ剛性：0.08、ロール剛性：0.08使用モータPK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)送りねじリード(mm)0.5位置決め精度(mm)0.016ロストモーション(mm)0.005最高速度(mm/s)5(5000pps時)材質(テーブル)アルミ合金
