ストローク(Z距離)(mm)±15
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)90
テーブル幅(mm)100
耐荷重(N)98
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
質量(kg)5.5
表面処理(テーブル)カニゼンメッキ、(ベース)塗装、(ブラケット)塗装
繰返し精度(mm)±0.0005
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.0007、ヨーイング・ピッチング4sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.1、ピッチ剛性：0.15、ロール剛性：0.1
使用モータPK545NAW相当 電磁ブレーキ付(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
位置決め精度(mm)0.002
ロストモーション(mm)0.0005
最高速度(mm/s)10(5000pps時)
材質(テーブル)鋼材
